电容式位移传感器及测量系统
测量原理
nanoCDMS(非接触电容位移传感器)是基于平行板电容原理设计开发的,传感器与被测物体各自等效为一个平板电极,通过激励电路给传感器一个稳定持续的激励信号,激励信号的幅值变化与电容到被测物体间的距离成正比。激励信号经过精密解调电路解调,通过相应的算法得出电容与距离的比例关系。
C=Ɛ0*Ɛr*
电容C与有源传感器表面A成正比,D是传感器和目标表面之间的距离,Ɛ0是一个常数,Ɛr是电容器极板之间材料的介电常数,一般为空气。
C-电容
A-有源传感器表面积
D-传感器和目标表面之间的距离
Ɛ0-常数
Ɛr-电容器极板之间材料的介电常数
探头三电极设计
传感器探头采用独特的三电极设计,传感器探头由中心测量电极、电磁场屏蔽保护极、地线保护极组成,三个电极平齐的安装在一起的设计使传感器探头的抗干扰能力大大提升,可有效的避免测量环境中的干扰。
超高的精度及稳定性
通过各种现场试验及用户实际使用情况证明善测(天津)科技有限公司的nanoCDMS系列高精度电容传感器在绝对误差、重复性、分辨率上都达到了极高的水平,在工业应用领域可以达到亚微米级别的精度,在实验室环境甚至可以达到纳米级别的精度。
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